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光阻固化低温退火炉国际招标公告
发布时间:2021-1-12 17:14:00    点击次数:29
上海机电设备招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2021-01-12在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:中芯集成电路制造(绍兴)有限公司计划为中芯绍兴特种晶圆工艺生产线购买一批设备
资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位
项目已具备招标条件的说明:具备了招标条件
2、招标内容
招标项目编号:0613-204522155780/04
招标项目名称:光阻固化低温退火炉
项目实施地点:中国浙江省
招标产品列表(主要设备):
序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注
1 氢气低温退火炉 1 修复表面晶格损伤,均匀性好 /
2 场氧化层生长反应炉 1 设备通过反应生成氧化SIO2薄膜层 /
3 氮化硅生长机 1 实现氮化硅生长,均匀性好 /
4 光阻固化低温退火炉 1 实现光阻固化退火,修复表面晶格损伤,均匀性好 /
5 化学机械研磨 1 实现晶圆表面平坦化 /
6 高真空离子镀膜金属溅射机 1 高真空离子镀膜金属溅射机/Metal Dep AlCu/TTN PVD /

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1)具有独立的法人资格,相应的经营范围。投标方应具有正规注册的办事处、维修站及零备件保税库。在中国境内应有专门负责的经验丰富的维修工程师和专门的技术应用支持工程师。 2)投标人提供的设备需要在业界有安装使用的经验 。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2021-01-12
招标文件领购结束时间:2021-01-19
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点:上海市长寿路285号恒达大厦16楼上海机电设备招标有限公司
招标文件售价:¥500/$80
5、投标文件的递交
投标截止时间(开标时间):2021-02-02 09:30
投标文件送达地点:上海市长寿路285号恒达广场22楼
开标地点:上海市长寿路285号恒达广场22楼
6、投标人在投标前应在必联网(https://www.ebnew.com)或机电产品招标投标电子交易平台(https://www.chinabidding.com)完成注册及信息核验。
7、联系方式
招标人:中芯集成电路制造(绍兴)有限公司
地址:中国浙江省绍兴市越城区皋埠镇临江路518号
联系人:梁爽
联系方式:0575-88060000-62339
招标代理机构:上海机电设备招标有限公司
地址:上海市长寿路285号恒达大厦16楼上海机电设备招标有限公司
联系人:王鼎 应秋祺 潘永亮
联系方式:021-32557721
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